[1]张珂%姜云浩%陆峰%刘鲁生%翟朝峰%黄楠.氮化硅表面生长金刚石薄膜及其摩擦磨损性能研究[J].沈阳建筑大学学报(自科版),2017,(4):688-695.[doi:10.11717/j.issn:2095-1922.2017.04.14]
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氮化硅表面生长金刚石薄膜及其摩擦磨损性能研究()
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沈阳建筑大学学报(自科版)[ISSN:1006-6977/CN:61-1281/TN]

卷:
期数:
2017年第4期
页码:
688-695
栏目:
机械工程
出版日期:
2018-09-13

文章信息/Info

作者:
张珂%姜云浩%陆峰%刘鲁生%翟朝峰%黄楠
关键词:
金刚石 氮化硅 微波等离子体化学气相沉积 微观结构 摩擦磨损
DOI:
10.11717/j.issn:2095-1922.2017.04.14
摘要:
目的 研究金刚石耐磨涂层的摩擦磨损性能，以提高工件的使用寿命.方法 利用微波等离子体化学气相沉积技术在氮化硅陶瓷基体表面制备金刚石薄膜.采用扫描电子显微镜、原子力显微镜和拉曼光谱仪对不同参数的金刚石薄膜进行结构表征，利用球-盘式摩擦磨损试验机在干摩擦条件下对薄膜的摩擦学性能进行研究.结果 制备的金刚石薄膜表面粗糙度小，结合力良好；金刚石涂层有效降低了氮化硅表面的摩擦因数与磨损率，摩擦因数约为0.12～0.25.在微波功率8 kW、腔体气压6 kPa、甲烷体积分数8%的参数下制得的涂层具有最低的摩擦因数（0.12）和磨损率（1.18×10-7mm3/(N·m)）.结论 在氮化硅基体表面沉积金刚石薄膜可以提高氮化硅材料的摩擦磨损性能，提高工件寿命.
更新日期/Last Update: 2018-09-13